成都某半导电源芯片生形成产商，晶圆生产时候中形成含硅、氟的层次性废渣，设定正确治理 面积1200吨/日。废渣基本成分很复杂，包含的纳米技术级硅颗粒物及盐酸，传统化正确治理 具体方法无发合格。 废污水有效成分及源头 最主要的环保问题物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm粒级）、氟化合物（200-300mg/L）、异丙醇 源头程序 ：晶圆刻蚀废污水（45%）、CMP生物机械厂打磨抛光废污水（40%）、设施清洗道路水（15%） 除理新工艺步奏 多元化适用"化学上沉淀自己+持种膜分離"技术性行车路线： 钙盐悠长岁月中 ：污泥脱水氯化钙彻底清除氟阴阳离子（出现CaF2凝固） 二沉池反馈 ：包覆二沉池剂体现溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm管径膜截流微细粒状 反参透系统化 ：脱盐率>98%，回报率75% 汽化成果 ：浓水段改变氟化物零废气 最后成果 氟化物溶液浓度：<8mg/L（不超过国家三级标准10mg/L） 硅分子量：<5mg/L 水自然资源回收利用率：70%用以保压塔补充水分 危险废物减掉：化掉沉渣量较过去的艺减掉60%