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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体器件电源芯片制造出厂在晶圆加工生产全过程中,施用硅烷完成硅本质植物生长,烟气洗條塔发生低浓度值含硅生活污水。生活污水具有着pH价格波动大(2-11)、硅分子量高的优点,过去的清理策略易突然出现硅垢堵塞了间题。 生活污水成分表及主要来源 废渣主耍组成为: 溶解性性硅酸盐 :SiO₂含量达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢氧化反应钠 :洗洁塔耐酸碱洗洁液残余的 顆粒硅 :納米级SiO₂橡胶胶体部分 痕量砷 :原辅材料溶物融入 进行处理工艺设备具体流程 研发所采用"有级与+膜过滤水+化掉心得"艺: 1级采和 :用CaO调控pH至4-5,自动生成硅酸钙放置,硅弄掉率60%。 2级中合 :加Na₂CO₃将pH不断提升至9,进的一步积累剩于硅,串联用镁剂除砷。 反渗透膜设备 :0.02μm工业陶瓷膜过滤清洁微米级硅粒状,通量相对稳定在80LMH。 MVR多效空调蒸发器 :沉淀高盐生活污水,晶体出Na₂SO₄副货品,水循环率超90%。 既定成果 总硅从1500mg/L减至5mg/L低于 砷含碳量从0.8mg/L降落到0.01mg/L 体系无积灰开机运行低于2年 第年出售磷酸钠晶胞约800吨

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