某半导体器件电源芯片制造出厂在晶圆加工生产全过程中,施用硅烷完成硅本质植物生长,烟气洗條塔发生低浓度值含硅生活污水。生活污水具有着pH价格波动大(2-11)、硅分子量高的优点,过去的清理策略易突然出现硅垢堵塞了间题。
生活污水成分表及主要来源
废渣主耍组成为:
溶解性性硅酸盐
:SiO₂含量达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢氧化反应钠
:洗洁塔耐酸碱洗洁液残余的
顆粒硅
:納米级SiO₂橡胶胶体部分
痕量砷
:原辅材料溶物融入
进行处理工艺设备具体流程
研发所采用"有级与+膜过滤水+化掉心得"艺:
1级采和
:用CaO调控pH至4-5,自动生成硅酸钙放置,硅弄掉率60%。
2级中合
:加Na₂CO₃将pH不断提升至9,进的一步积累剩于硅,串联用镁剂除砷。
反渗透膜设备
:0.02μm工业陶瓷膜过滤清洁微米级硅粒状,通量相对稳定在80LMH。
MVR多效空调蒸发器
:沉淀高盐生活污水,晶体出Na₂SO₄副货品,水循环率超90%。
既定成果
总硅从1500mg/L减至5mg/L低于
砷含碳量从0.8mg/L降落到0.01mg/L
体系无积灰开机运行低于2年
第年出售磷酸钠晶胞约800吨