该厂为8厘米晶圆生产方式线一起的超超纯水体统，每天都在诞生含硅废液150吨。废液中虽无巨资属，但硅量高易积垢，且电阻功率率需可达18MΩ·cm就能够中水回用。原来的解决施工工艺无发提供新公布的《网络制造业水空气有害物质排卸标准规范》（GB39731-2020）相当排卸规定值。 污水物质共同点 包括污染源物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、颗粒物硅（粒级0.1-1μm） 特色条件 ：TOC<10μg/L，硼浓度<5μg/L 饮用水功能 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅无机化合物特征有难度 解决工艺设备具体步骤 科技创新采用了"梯级膜区分+电去亚铁离子"组合构成加工过程： 微滤预操作 ：1μm工业陶瓷膜电话拦截大顆粒硅，通量恢复80LMH 化合物对调树脂材料 ：D201大孔树脂材料进行性活性炭吸附硅酸原子核 三级RO系统化 ：独一段收购率60%，2段选用高脱硼膜电子器件 EDI电去正离子 ：电流大小导热系数2A/m²，定期避开残留阴离子 紫外光除菌 ：254nm紫外线灯线摄入量40mJ/cm² 高技术闪光点 开放专门阻硅剂（设计胺类组合物），推迟膜污染问题周期怎么算3倍 EDI接口创新性流道设定，硅消除率提高至99.8% 线硅探讨仪（在线检测范围图0.1-500μg/L）体现精准脱贫管理 启用取得成效 经第3方的检测： 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼含量的从8μg/L高于0.3μg/L 设计再利用率从原40%提拔至68% 膜修改时期延长至至5年，年加载总成本降底35%