该晶圆制造技术厂建在西北位置,最主要出产89英寸半导体材料晶圆,单日电镀废水进行排放口量约800吨。在出产的时候中操作很多盐酸采取晶圆蚀刻,促使电镀废一般的水都氟化物渗透压更是高达200-300mg/L,远超政府进行排放口细则(10mg/L如下)。
生活污水成份及的来源
生活污水包括源于5个关键环节:
晶圆蚀刻流程
:含高溶液浓度氟化物(HF)、硝酸银及极富巨资属
化学式物理镜面抛光(CMP)废水处理工艺
:含奈米级硅粉末、可挥发络合剂
机械设备清晰废液
:含异丙醇、氟化物等有机会物
整理生产工艺方案
分为"物理放置+混疑放置+强度过滤清洁"一级补救机系统:
1阶段除理
:污泥脱水氯化钙和氢硫化钙,演变成氟化钙沉定,氟化物清除率达85%
两级办理
:增长PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),快速清理固体态环境破坏物
3级操作
:能够多导电介质进行全自动过滤器中和催化活性炭包吸出,留水氟化物酸度比较稳定在8mg/L下列
主要系统软件比如:pH自動调节器系统软件、斜管沉淀物中池、板框隔膜压滤机(生活污水甩干)。
不可能感觉
工作运转五年检测资料表现:
氟化物最低值氧化还原电位:7.2mg/L(不超过国度准则)
COD清除率:92%
淤泥含水分率:≤65%
年回收公司氟化钙副產品约150吨,体现资原化再生利用