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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆制造技术厂建在西北位置,最主要出产89英寸半导体材料晶圆,单日电镀废水进行排放口量约800吨。在出产的时候中操作很多盐酸采取晶圆蚀刻,促使电镀废一般的水都氟化物渗透压更是高达200-300mg/L,远超政府进行排放口细则(10mg/L如下)。 生活污水成份及的来源 生活污水包括源于5个关键环节: 晶圆蚀刻流程 :含高溶液浓度氟化物(HF)、硝酸银及极富巨资属 化学式物理镜面抛光(CMP)废水处理工艺 :含奈米级硅粉末、可挥发络合剂 机械设备清晰废液 :含异丙醇、氟化物等有机会物 整理生产工艺方案 分为"物理放置+混疑放置+强度过滤清洁"一级补救机系统: 1阶段除理 :污泥脱水氯化钙和氢硫化钙,演变成氟化钙沉定,氟化物清除率达85% 两级办理 :增长PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),快速清理固体态环境破坏物 3级操作 :能够多导电介质进行全自动过滤器中和催化活性炭包吸出,留水氟化物酸度比较稳定在8mg/L下列 主要系统软件比如:pH自動调节器系统软件、斜管沉淀物中池、板框隔膜压滤机(生活污水甩干)。 不可能感觉 工作运转五年检测资料表现: 氟化物最低值氧化还原电位:7.2mg/L(不超过国度准则) COD清除率:92% 淤泥含水分率:≤65% 年回收公司氟化钙副產品约150吨,体现资原化再生利用

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